产品分类 / PRODUCT
技术文章 / ARTICLE
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2023-04-27
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光谱共焦位移传感器LT-C400探头
光谱干涉测量传感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固体、液体或由两块玻璃所夹的气体薄层。入射光经薄膜上表面反射后得第一束光,折射光经薄膜下表面反射,又经上表面折射后得第二束光,这两束光在薄膜的同侧,由同一入射光振动分出,是相干光,属分振幅干涉。当由一组波长组成的白光入射到薄膜上时,某些波长的光被增强,而某些波长的光则被减弱。通过对混合的两个波前产生的光干涉条纹进行光谱分光,测算干涉信号的频率光谱,
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2023-04-27
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HCI-500系列纳米膜厚测量 光谱干涉传感器
光谱干涉测量传感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固体、液体或由两块玻璃所夹的气体薄层。入射光经薄膜上表面反射后得第一束光,折射光经薄膜下表面反射,又经上表面折射后得第二束光,这两束光在薄膜的同侧,由同一入射光振动分出,是相干光,属分振幅干涉。当由一组波长组成的白光入射到薄膜上时,某些波长的光被增强,而某些波长的光则被减弱。通过对混合的两个波前产生的光干涉条纹进行光谱分光,测算干涉信号的频率光谱,
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光谱共焦/同轴光位移传感器LT-C系列
光谱共焦/同轴光位移传感器LT-C系列
更小的测量盲区
更高精度的尺寸及位移复现能力
高灵敏度光学非接触测量
多膜层/多层玻璃测厚能力
同轴式测量配置,避免了激光三角传感器的角度限制,缩小测量盲区,
适合复杂细微结构(如深沟槽结构等)的测量。
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更新日期
2023-04-26
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